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第二十四章 光刻·实验室里的微光

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  省分厂的光学实验室,是用轻钢棚改造的,四壁糊着两层防尘布,地上铺着防静电胶垫,唯一的窗户蒙着深色遮光膜,只漏进一缕微弱的天光。

我站在棚中央,看着面前的土法光刻台——这是陈曦博士的心血,用国产光学镜片、自制感光胶和旧机床改造而成,金属支架上还沾着未清理的焊锡,却透着一股不服输的硬气。林静的虚拟身影悬浮在光刻台旁,手里拿着一枚硅片,她指尖轻点,投影出放大十倍的电路版图,淡金色的线条在半空中铺开,像一张精细的蛛网:“感光胶已经涂好了,接下来要曝光、显影、蚀刻,每一步误差都不能超过0.1微米。

陈曦已经算过,这台光刻台的精度能到1.4微米,足够刻出霜花-丙的栅极。”陈曦的虚拟身影也凑了过来,他推了推虚拟眼镜,语气带着一丝紧张:“曝光时间是关键,太长会糊,太短刻不清晰。

我做了十次模拟,最佳时间是45秒,咱们得盯着计时器,一秒都不能差。”聂小红搬来一台旧闹钟,放在光刻台边,指针“滴答”作响,像在为即将开始的实验倒计时:“我已经把实验室的门反锁了,外面安排了暗哨,谁也别想进来捣乱。

典狱长,开始吧?”我深吸一口气,戴上防静电手套,小心翼翼地把硅片放在光刻台的载物台上。

遮光膜外传来风卷黄沙的声音,棚内却静得能听见自己的心跳。顾骁站在门口,手里握着对讲机,随时准备应对突发情况——上次省电子厂的人没占到便宜,谁也说不准会不会再来搞破坏。

“开灯。”我轻声说。陈曦按下开关,光刻台上方的紫外灯亮起,淡紫色的光笼罩着硅片,像一层薄纱。闹钟的指针开始转动,45秒,像一个世纪那么漫长。我死死盯着硅片,手心的汗透过手套渗出来,沾在载物台上。“10秒、9秒……3秒、2秒、1秒!关灯!”陈曦突然喊。

紫外灯熄灭,棚内重新陷入昏暗。林静立刻递来显影液,我用滴管小心地滴在硅片上,液体顺着硅片边缘流下,渐渐显露出淡褐色的电路纹路——线条清晰,没有糊边,栅极的宽度均匀得像用尺子量过。“成了!”聂小红忍不住欢呼,声音压得极低,却难掩兴奋。

陈曦的虚拟身影晃了晃,语气里带着激动:“快,送去蚀刻!只要蚀刻成功,霜花-丙的核心步骤就完成了!”蚀刻间就在隔壁棚,里面放着一台自制的蚀刻机,用硝酸和氢氟酸按比例调配的蚀刻液在玻璃槽里泛着淡绿色的光。我把硅片放进蚀刻槽,看着电路纹路一点点变得清晰,心里


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