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六十四 改造光刻机

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这是最容易替换的技术了。

当杨青终于站在完工后的光刻机前面,也不禁有种松了一口气的感觉。

改进后的光刻机,体积足足扩大了一倍还多,这样的庞然大物,偏偏要用磨绣花针的手法去修配安装,始终让人轻松不起来。

杨青费这么大的力气改造光刻机,自然不是仅仅为了生产这一种九十纳米制程的芯片,实际上要不是杨青他们设计的芯片,已经定型在了九十纳米上面,现在的光刻机的制程,立刻就能达到二十八纳米的程度。

这已经是国产的透镜,经过小嫒精磨以后,能够达到的最细线宽了。

理论上来说这样的透镜,经过多次曝光以后,也可以加工7纳米的芯片,但是杨青对这个兴趣并不大,他又不是手机生产企业,对于性能更强的芯片没有需求,并且就算有了7纳米的生产能力,他的芯片又不能和别人家的系统适配,未必能竞争得过人家。

既然光刻机已经改造完毕了,那么接下来最重要的就是试生产一批芯片,好验证一下改造的效果。

之前的大略试用自然是成功了,一张六英寸硅晶圆,上面只光刻一个芯片,切割封装以后,还算是成功,芯片的性能也在预计范围内。

下面进行试生产,就是验证一下改进后的光刻机,它的生产效率还有成本。

如果成本太高,已经比买进芯片的成本还高,哪怕是性能再强,生产一批以后,就要封存起来,等以后升级换代再重新启用。

新购进的一千片六英寸硅晶圆被放在原料箱内,随着输送带被传送进光刻机里面,里面开始抽气,保持相对真空的状态,然后硅晶圆被放在工作台上,镀膜旋涂,干燥,然后掩膜版升起,激光头开始工作。

尽管肉眼看不到激光光线,但是从硅晶圆上面,光刻胶的软化变形,就能看出激光的能量在发挥作用。

光刻机的操作系统已经被小嫒全盘接管,光刻的效率也已经成了原先的十倍以上,工作台以极快的速度,和激光头透镜进行着先对运动,很快就刻完了一块晶圆,把它送到下一个步骤,然后继续下一块晶圆。

接下来的步骤都是在暗箱中进行的,就算是杨青,也看不到刻蚀,离子注入等过程,等在出口处见到它们的时候,已经变成了一块块封装完毕的芯片。

一块六英寸晶圆上,一共可以切割30片完整的芯片。

因为带有二十GB内存的关系,使得芯片的表面积,达到了580平方毫米,不过这些内存,更


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