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第461章 哟,超了?!

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不少。

看着易中海在工件台上一阵操作,现场的验证了1.5μm的运动精度,高振东一拍大腿:“这可太有用了!各位师傅,这么说吧,你们已经实现了我下一步想要达到的精度目标,是大跨了一步啊!谢谢你们!”

说完,高振东后退一步,给大家行了个礼,然后抬起头来。

“各位师傅,我在此宣布,特种工艺工件台课题,原理样机基本成功,可以转入下课题研究的下一阶段,谢谢所有参与者的辛勤劳动和艰苦付出。”

各位师傅齐齐鼓掌,这位高总工为人,那真是没得说。

对于高振东来说,这两个指标达到了1.5μm,至少在工件台一块,就能支撑住5~8μm的线宽制程,这大大的超出了原本的预期,加快了设想中的进度。

而工件台的解决,意味着掩膜台也得到了解决,两者在结构和功用上是高度相似的,只是一个放掩模,一个放硅片。至于光学系统,基本是不动的,那玩意精贵着呢,调整好了就别动了,让掩模和工件自己动才是正理。

高振东抬起头来,招呼秦怀茹:“秦师傅,麻烦你一下,你到三分厂厂办,叫他们通知总厂宣传处的同志过来一下。”

直接叫秦怀茹的原因,是因为这里他熟悉的只有易中海两师徒,这种跑腿的事情,自然不太好叫易中海去做,那就只有辛苦一下秦怀茹了。

秦怀茹应了一声出去了,高振东笑道:“各位师傅,这个事情虽然前面要走的路还长,但是这个喜讯,我们至少在厂内还是要好好报道一下的。”



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